2021-01-182021-01-182019-09-06VII Encuentro de Jóvenes Investigadores en Ciencia y Tecnología de los Materiales. Rosario (2019).http://hdl.handle.net/20.500.12272/4720En este trabajo, se fabricaron capas finas esculturales de ITO en configuración de ángulo oblicuo mediante RF magnetron sputtering con dos composiciones de plasma distintas, argón y oxígeno, y solo argón. Las mismas presentaron alta transparencia en el espectro visible, una porosidad considerable y baja resistividad eléctrica. Se seleccionó un ángulo de deposición y se fabricaron capas en estructura chevron para su uso como electrodos electroquímicos. Al evaluar la actividad electrocatalítica, estas capas porosas mostraron mejor actividad en comparación con capas compactas, y a su vez las capa crecidas con argón y oxigeno superaron a las crecidas en sólo argón.application/pdfspainfo:eu-repo/semantics/openAccesshttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 InternacionalPlasmaDeposición electro-catalíticaITOinfo:eu-repo/semantics/conferenceObjectMoreira, Ramiro Damián ; Oliva-Ramírez, Manuel ; Huang, Hai ; Schaaf, PeterNo comercial con fines académicos.