Moreira, Ramiro Damián; Oliva-Ramírez, Manuel; Wang, Hongmei; Schaaf, Peter (2019-09-06)
En este trabajo, se fabricaron capas finas esculturales de ITO en configuración de ángulo oblicuo mediante RF magnetron sputtering con dos composiciones de plasma distintas, argón y oxígeno, y solo argón. Las mismas ...