Desarrollo de interferometria optica de baja coherencia para la aplicación a la caracterización de materiales

Abstract

En ta tesis se presenta la técnica de interferometria de baja coherencia, como un para caracterizar superficies y espesores tanto en materiales opacos como semitransparentes. La técnica permite medir con precisión en el orden del micrón y con rango dinámico en el orden del centímetro. El trabajo se orientó a la caracterización de materiales por medio de topografia y tomografia óptica, para aplicaciones industriales, particularmente en la determinación de parámetros de forma, perfilometria de superficie y medición de espesores, entre otras. Se presenta un estudio detallado del proceso de detección y adquisición y los efectos sobre la señal de interferencia. Se muestran los resultados obtenidos con los sistemas experimentales utilizados, sobre muestras metálicas, películas de grasas, polímeros y films de vidrio. Se propone un nuevo esquema interferometrico capaz de realizar las mediciones de espesores en muestras opacas y semitransparentes sin la necesidad de conocer el índice de refracción. Por medio de este esquema también se pueden determinar las topografias de ambas caras de una muestra.