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Estudio comparativo del recubrimiento de carburo de silicio (SiC) depositado mediante reactor PECVD sobre sustratos de MgAZ31 y AISI316
(2023-10-01)
En este artículo, se presenta un estudio comparativo del recubrimiento SiC depositado en un reactor
PECVD sobre sustratos de MgAZ31 y AISI 316. El objetivo de este trabajo es analizar la influencia del
sustrato en las ...