Reconstrucción de imágenes topográficas para caracterización de superficies mediante microscopía óptica de baja coherencia

Abstract

Se presenta la técnica de microscopía óptica de baja coherencia en el dominio de las frecuencias (OCM-FD) para la obtención de imágenes 3D que permiten reconstruir la topografía de una superficie. La técnica puede ser aplicada sobre distintos materiales y texturas, en áreas de hasta 25x25mm, con una separación entre puntos de 4 μm y distancias en el eje normal al plano de barrido de hasta 2 mm con una resolución de 0.1 μm. Se muestran resultados sobre rugosidad en muestras metálicas, determinación de volumen extraído en muestras metálicas erosionadas y topografías de tintas conductoras impresas sobre cerámica y PET