Interferometría óptica de baja coherencia para caracterización dimensional de microestructuras

Abstract

En este trabajo se presenta un sistema de laboratorio basado en la técnica de interferometría óptica de baja coherencia en el dominio de las frecuencias (FD-OCT) para la caracterización dimensional de microestructuras. El sistema propuesto es un interferómetro en fibra óptica con una fuente de luz blanca que termina en un cabezal que enfoca el haz sobre la muestra. La medición se realiza enfocando el haz láser sobre cada punto de la muestra y realizando un barrido en dos dimensiones, sobre el área deseada. Permite ser montado en distintas configuraciones y medir distancias de varios milímetros con una resolución espacial en el orden del micrón. El sistema portamuestra permite realizar barridos en el orden del centímetro. Se muestran posibles aplicaciones en el estudio de morfología de dispositivos para microfluídica y análisis de ángulos de contacto. Se describe la idea general del método, se muestra un esquema experimental simple como alternativa a las técnicas convencionales en el monitoreo y estudio de materiales. Se presentan imágenes obtenidas en topografías y tomografías de distintas muestras con distintos parámetros de interés. Se discute las posibilidades de implementar un sistema experimental sencillo que podría ser utilizado en ambientes fuera de un laboratorio de investigación