Dual system increases the resolution of a low coherence interferometer system through a signal detector astigmatic focus

Abstract

La interferometría de baja coherencia en el espacio de Fourier (OCT-FD) es una técnica que permite medir distancia con valores típicos de rango dinámico en el orden de 3 mm y resolución por debajo de los 10 µm. En este trabajo se propone combinar esta técnica interferométrica con una técnica que mide distancias utilizando la señal de foco astigmática, lo que permite llevar el límite de resolución a menos de 10 nm. Se muestra el esquema experimental armado con ambas técnicas y resultados experimentales en desplazamientos de una superficie muestra, controlada con un sistema piezoeléctrico realimentado con strain-gauge que hemos utilizado como sistema de referencia