Deposición, caracterización y actividad electro-catalítica de capas delgadas de ITO fabricadas a ángulo oblicuo por RF magnetron sputtering
| dc.creator | Moreira, Ramiro Damián | |
| dc.creator | Oliva-Ramírez, Manuel | |
| dc.creator | Wang, Hongmei | |
| dc.creator | Schaaf, Peter | |
| dc.date.accessioned | 2021-01-18T19:33:17Z | |
| dc.date.available | 2021-01-18T19:33:17Z | |
| dc.date.issued | 2019-09-06 | |
| dc.description.abstract | En este trabajo, se fabricaron capas finas esculturales de ITO en configuración de ángulo oblicuo mediante RF magnetron sputtering con dos composiciones de plasma distintas, argón y oxígeno, y solo argón. Las mismas presentaron alta transparencia en el espectro visible, una porosidad considerable y baja resistividad eléctrica. Se seleccionó un ángulo de deposición y se fabricaron capas en estructura chevron para su uso como electrodos electroquímicos. Al evaluar la actividad electrocatalítica, estas capas porosas mostraron mejor actividad en comparación con capas compactas, y a su vez las capa crecidas con argón y oxigeno superaron a las crecidas en sólo argón. | es_ES |
| dc.description.affiliation | Fil: Moreira, Ramiro Damián. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Concepción del Uruguay. Departamento Ingeniería Electromecánica. Grupo de Ingeniería de Superficies; Argentina. | es_ES |
| dc.description.affiliation | Fil: Oliva-Ramírez, Manuel. Universidad Técnica de Ilmenau. Facultad de Ingeniería Eléctrica y Tecnologías de la Información. Instituto de Ingeniería de Materiales; Alemania. | es_ES |
| dc.description.affiliation | Fil: Wang, Hongmei . Universidad Técnica de Ilmenau. Facultad de Ingeniería Eléctrica y Tecnologías de la Información. Instituto de Ingeniería de Materiales; Alemania. | es_ES |
| dc.description.affiliation | Fil: Scaaf, Peter. Universidad Técnica de Ilmenau. Facultad de Ingeniería Eléctrica y Tecnologías de la Información. Instituto de Ingeniería de Materiales; Alemania. | es_ES |
| dc.format | application/pdf | es_ES |
| dc.identifier.citation | VII Encuentro de Jóvenes Investigadores en Ciencia y Tecnología de los Materiales. Rosario (2019). | es_ES |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/20.500.12272/4720 | |
| dc.language.iso | spa | es_ES |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | es_ES |
| dc.rights.holder | Moreira, Ramiro Damián ; Oliva-Ramírez, Manuel ; Huang, Hai ; Schaaf, Peter | es_ES |
| dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ | * |
| dc.rights.uri | Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internacional | * |
| dc.rights.use | No comercial con fines académicos. | es_ES |
| dc.subject | Plasma | es_ES |
| dc.subject | Deposición electro-catalítica | es_ES |
| dc.subject | ITO | es_ES |
| dc.title | Deposición, caracterización y actividad electro-catalítica de capas delgadas de ITO fabricadas a ángulo oblicuo por RF magnetron sputtering | es_ES |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/conferenceObject | es_ES |
| dc.type.version | acceptedVersion | es_ES |