Intercomparación en Mediciones Superficiales.

Abstract

La trazabilidad en mediciones superficiales de micro y nanoestructuras es condición ineludible para garantizar la calidad en proyectos de innovación, investigación y desarrollo en el espectro disciplinar que abarca las ciencias químicas, biológicas, de materiales, siendo además un requisito para mediciones de rugosidad en la industria. La confiabilidad metrológica (ISO 10012) presupone el uso de instrumentos calibrados, patrones trazables, procedimientos de medición validados y balances de incertidumbre. Estos requerimientos no so habituales en microscopía y representa una debilidad a subsanar. En este trabajo se presentan los resultados de la Inter comparación de mediciones de textura superficial en patrones 2D y 3D con cuatro tipos de instrumentos: Rugosímetro, Microscopio Confocal, Microscopio de Fuerza Atómica y Microscopio Electrónico de Barrido. Las evaluaciones de conformidad (ISO 17043) mediante la comparación de los errores normalizados (En), que ponderan los efectos sistemáticos y sus incertidumbres, convalidan el uso de los microscopios como instrumentos metrológicoInnovation, research and development projects that include surface measurements of micro and nanostructures must guarantee the traceability of them. The disciplinary spec trum that includes this type of measurements goes from chemical and biological sciences to the engineering of materials. The traceability is also a requirement for surface rough ness in industry. Metrological reliability (ISO10012) presupposes the use of calibrated ins truments, traceable patterns, validated measurement procedures and uncertainty balance. These requirements do not apply in microscopy, being a weakness to correct. In this pa per we present the results of the intercomparison of surface texture measurements in 2D and 3D patterns with four types of instruments: Contact Roughness, Confocal Microscope, Atomic Force Microscope and Scanning Electron Microscope. The conformity assessments (ISO 17043), through the standardized errors (En) that weigh the systematic effects and their uncertainties, validate the use of microscopes as metrological instruments.